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该设备是我公司专门为半导体领域研发的一款高真空快速退火炉;可适用于8寸以内的晶圆等半导体材料的快速退火、钎焊等热处理工艺;炉膛内洁净度高、真空度高、效率快等特点是您生产工艺中的首选;
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